双室油淬气冷真空炉投入使用的要求和标准

2020-12-04 15:53:16 432

  双室油淬气冷真空炉克服了高温真空状态下硅烟气体易与碳纤维发生反应,碳纤维制成的保温套管失去保温效果的问题,炉体由外向内设有炉套和隔热套,炉体与炉套之间有隔热层。

  绝缘套管的内、外表面设有石墨套管,使绝缘套管不直接面对硅粉气体,烧结材料支撑架与石墨套筒固定连接,防止烧结材料支撑架通过分离器,有效地保护了绝缘套管,防止其绝缘效果丧失。

  作为改进,石墨套管、烧结料架和电加热体表面均涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼层,石墨套的作用是为烧结料架提供支撑,并从隔热罩中排出硅气,但在高温真空条件下,硅和石墨也能发生反应,氮化硼层是为了防止硅气与石墨进一步发生反应。

  烧结材料支撑架和电加热体可提高部件的使用寿命,作为进一步改进,空气泵可以在炉体外部提供循环冷却介质,空气泵与绝缘材料连接。