新型烧结真空炉的性能特点分析

2021-04-02 15:13:00 302

  新型烧结真空炉克服了硅灰气体在高温真空状态下易与碳纤维发生反应,碳纤维制成的保温套管失去保温效果的问题,炉体包括圆筒状炉体,圆筒状炉体由外向内设有炉套和隔热套,炉体与炉套之间设有隔热层。

  石墨套设置在绝缘套的内表面,使绝缘套不直接面对硅粉气体,烧结料支撑架与石墨套固定连接,防止烧结料支撑架穿过隔板,本实用新型有效地保护了绝缘套管,防止其失去绝缘效果。

  作为改进,石墨套、烧结料架和电加热体表面涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼层,石墨套的作用是为烧结料架提供支撑,并从隔热套管中排出硅气,但在高温真空条件下,硅和石墨也能发生反应,氮化硼层是为了防止硅气体进一步与石墨发生反应的套筒。

  烧结材料支撑架和电热体可延长部件的使用寿命,作为进一步的改进,在炉体外部设置有空气泵以提供循环冷却介质,空气泵与隔热材料连通。