退火真空炉的组成组件说明

2021-04-26 17:23:45 369

  退火真空炉包括设置在炉管内的石英管、炉管的前后端、前端盖和后端盖,在炉管的外壁和内壁之间形成石英管加热腔,石英管和前端盖以及在端盖之间形成的反应腔。

  管内风冷吹扫组件包括进气管、吹扫管和吸入管,进气管和吸入管设置在后端盖上,吸入管与反应室连通,吹扫管设置在反应室内,吹扫管一端与进气管连通,另一端延伸至前端盖。

  吹扫管包括连接部、盘管部和延伸部,连接部与进气管连接,盘管部与连接部连接并位于后端盖附近,延伸部一端与盘管部连接,另一端延伸至前端盖附近。

  在这种结构中,氮源气体通过管内的风冷吹扫组件进入反应室前端,氮气从反应室前端流向后端,吸收大量热量,然后从管内的风冷吹扫组件中抽离,从而达到对整个反应室的快速冷却效果。