烧结真空炉的日常应急方法

　　烧结真空炉主要用于半导体元件和电力整流器件的烧结过程，可用于真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备。

　　它的设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，可以在一台设备上完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。下面，小编将介绍真空烧结炉的应急措施。

　　真空烧结炉冷却水异常。

　　1.确认加热电源已停止。

　　2.如果炉外漏水，冷却水量异常，应尽快采取应急措施。如果能保证水量，请继续保持真空。如果不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却。

　　3.冷却水异常时，设备停止，立即连接紧急冷却水。

　　4.在高温下(超过200℃视为高温)，如果冷却水停止，如果不能紧急送水，可能会损坏水冷电极、换热器、真空室外壳和泵。

　　停电

　　1.停电时，若断水，应立即连接备用冷却水，连接水源。

　　2.如果在非加热、加热、冷却时能尽快恢复，重新启动设备，如需长时间继续运行，则将设备保持原状。

　　3.如果在加热和冷却时能尽快恢复，则重新启动设备。如果需要很长时间，保持原状，使设备自然冷却。

　　加热电源断电。

　　1.当水压低于0.15MPa时，压力表报警。

　　2.接地故障。

　　3.真空放电，水冷电极接头必须与加热器连接牢固，与反射屏绝缘良好。

　　4.如果炉内压力为13.3-66.5Pa(这种真空度容易放电)。电源故障和断电的原因可以认为是电介质击穿引起的放电。