烧结真空炉的日常应急方法

2022-04-08 09:20:32 659

  烧结真空炉主要用于半导体元件和电力整流器件的烧结过程,可用于真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备。

  它的设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,可以在一台设备上完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。下面,小编将介绍真空烧结炉的应急措施。

  真空烧结炉冷却水异常。

  1.确认加热电源已停止。

  2.如果炉外漏水,冷却水量异常,应尽快采取应急措施。如果能保证水量,请继续保持真空。如果不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却。

  3.冷却水异常时,设备停止,立即连接紧急冷却水。

  4.在高温下(超过200℃视为高温),如果冷却水停止,如果不能紧急送水,可能会损坏水冷电极、换热器、真空室外壳和泵。

  停电

  1.停电时,若断水,应立即连接备用冷却水,连接水源。

  2.如果在非加热、加热、冷却时能尽快恢复,重新启动设备,如需长时间继续运行,则将设备保持原状。

  3.如果在加热和冷却时能尽快恢复,则重新启动设备。如果需要很长时间,保持原状,使设备自然冷却。

  加热电源断电。

  1.当水压低于0.15MPa时,压力表报警。

  2.接地故障。

  3.真空放电,水冷电极接头必须与加热器连接牢固,与反射屏绝缘良好。

  4.如果炉内压力为13.3-66.5Pa(这种真空度容易放电)。电源故障和断电的原因可以认为是电介质击穿引起的放电。