退火真空炉的结构布局介绍

2021-01-28 16:24:12 396

  退火真空炉包括设置在炉管内的石英管,炉管前后两端,其前端盖和后端盖,石英管加热腔在炉管外壁和内壁之间形成,石英管与前端盖和反应腔之间形成端盖。

  管内风冷吹扫组件包括进气管、吹扫管和吸入管,进气管和吸入管设置在后端盖上,吸入管和反应室连通,吹扫管设置在反应室中,吹扫管的一端与进气管连通,另一端延伸至前端盖附近。

  吹扫管包括连接部、盘管部和延伸部,连接部与进气管连接,盘管部与连接部连接并位于后端盖附近,延伸部一端与盘管部连接,另一端延伸至前端盖附近。

  在这种结构中,氮源气体通过管中的风冷吹扫组件进入反应室的前端,氮气从反应室的前端流到后端,吸收大量热量,然后从管内的风冷吹扫组件中抽离,从而实现对整个反应室的快速冷却效果。